三相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAL-361S

ULVAC/アルバック機工 【代引不可】三相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAL-361S (DAL361S) 
【直送品/北海道・沖縄県・離島には配送できません】

【特長】
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
【用途】
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
【仕様】
排気速度(L/min)50/60Hz:360/390
到達圧力(Pa):17.3×10［［の3乗］］
吸気口径(mm):21
電源(V):三相200
全幅(mm):388
全長(mm):523.6
全高(mm):274
寸法(mm):388×523.6×274
到達圧力(KPa):17.3
吸排気管径(mm):O.D.φ21×I.D.φ15(G1/2)
最大寸法(mm):388(W)×523.6(L)×274(H)
【ご注意】
ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。


【代引不可】三相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAL-361S 商品情報
質量
37(kg)
原産国
日本

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