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日東工器
0120-210-216


【商品説明】
●半導体製造設備用
●バルブ構造：両路開閉型
●適用流体：高純度薬品、水、各種工業ガス、空気
●本体材質にステンレス鋼を採用、シール材質にゴムを使用した汎用型。
●電解研磨処理を施して耐食性が向上。
●本体およびバルブスプリングに、ステンレス鋼(SUS304)を採用。
●シール材は流体・用途に合わせて選択自在。
●半導体製造工程にフレキシブルに対応します。
●ノーグリース仕様として、シール材にはグリースを塗布していません。
●サイズのバリエーションが豊富なので、ご希望の用途・流量に合わせて選択することができます。
●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立て・検査および包装を行なっています。
●おねじ取付用
●容器容量(L):10～20用
●寸法 L(mm):29
●寸法 C(mm):19
●寸法 H(mm):六角14
●寸法 T(めねじ)(mm):1/8-27NPT
●最高使用圧力MPa{kgf/平方センチメートル}:0.2{2}
●耐圧力MPa{kgf/平方センチメートル}:0.3{3}
●シール材質温度範囲(度):0～+50
●最小断面積(平方ミリメートル):13
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