日東工器 SCF-3S-4 FEP FKM セミコンカプラ SCF3S4FEP FKM

¥25099

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商品の説明

日東工器

0120-210-216

【商品説明】
【商品説明】
●高純度薬品用
●ふっ素樹脂製半導体製造設備用
●本体材質にインジェクションモールド加工の樹脂(PFA)を採用したオール樹脂製。
●すべての部品にふっ素樹脂を採用。特にOリングはFEP被覆ふっ素ゴムを使用、優れた耐薬品性を備えゴム溶出の心配がありません。
●半導体製造時の大敵であるパーティクルの発生を防止するため＜インジェクションモールド加工＞、＜チューブコネクト方式＞、＜ナット式プラグ取付機構＞など、独自の新技術を採用しています。
●プラグ・ソケットの接続は、押し込むだけのワンタッチ接続。分離も簡単なボタン操作によって片手でできます。
●独自の＜ダブルロック機構＞でソケットとプラグの不意の分離を防止します。
●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立て・検査および包装を行っています。
●互換性：サイズが異なる場合は接続できません。
●バルブ構造：両路開閉型
●セミコンカプラSCF型のプラグ(SCF-3P-※)と接続できます。
【用途】
●高純度薬品用
●ふっ素樹脂製半導体製造設備用
●本体材質にインジェクションモールド加工の樹脂(PFA)を採用したオール樹脂製。
●すべての部品にふっ素樹脂を採用。特にOリングはFEP被覆ふっ素ゴムを使用、優れた耐薬品性を備えゴム溶出の心配がありません。
●半導体製造時の大敵であるパーティクルの発生を防止するため＜インジェクションモールド加工＞、＜チューブコネクト方式＞、＜ナット式プラグ取付機構＞など、独自の新技術を採用しています。
●プラグ・ソケットの接続は、押し込むだけのワンタッチ接続。分離も簡単なボタン操作によって片手でできます。
●独自の＜ダブルロック機構＞でソケットとプラグの不意の分離を防止します。
●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立て・検査および包装を行っています。
●互換性：サイズが異なる場合は接続できません。
●バルブ構造：両路開閉型
●セミコンカプラSCF型のプラグ(SCF-3P-※)と接続できます。
【注意・使用条件】
●※適用流体と本体材質・シール材質の適合性については、流体の成分、濃度、温度等を考慮し慎重にご選定願います。
●本体形状:ソケット
●バルブ構造:バルブ付き(プラグバルブ付き)
●取付形状・サイズ:Rc1/2(めねじ)
●最高使用圧力(MPa{kgf/平方センチメートル}):0.2{2}
●耐圧力(MPa{kgf/平方センチメートル}):0.3{3}
●シール材質:FEP被覆ふっ素ゴム(バルブ：ふっ素樹脂)
●使用温度範囲(度):+5～+50
●最小断面積(平方ミリメートル):44.2
●寸法L(mm):(67.2)
●寸法A(mm):φ33
●寸法H(mm):二面30
●寸法D(mm):39
●寸法E(mm):(51)
●寸法T めねじ:Rc1/2
●適用流体:空気・水・高純度薬品・各種工業ガス4992338656133
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